Плазма, источники, технологическое применение плазмы - купить книги с доставкой по всей России

Название

Обложка

Автор

Год

Цена

Купить

Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения

Тенденции развития современной технологии электронной техники заключаются в увеличении степени интеграции изделий на поверхности подложек, что связано как с увеличением диаметра применяемых в производстве подложек, так и с уменьшением геометрических размеров элементов изделий на их поверхности. Сегодня размеры используемых полупроводниковых подложек возросли до 450 мм, а размеры элементов, формируемых на пластине в серийном производстве, уменьшились до 0,02-0,04 мкм. В результате степень интеграции выросла до одного миллиарда и более полупроводниковых приборов на одной пластине.
Использование ВЧ разряда индуктивно связанной плазмы (ICP) как плазмообразующего источника предоставляет большие преимущества для технологии изделий с микро и нано элементами. В частности, с его помощью достигают высокую плотность плазмы (1011-1012 см-3), минимальный разброс ионов по энергиям (∆ei ≤ 5 эВ), относительно низкое рабочее давление (10–2÷10–1 Па) и низкую энергетическую цену иона (30÷80) эВ/ион. Благодаря отсутствию накаливаемых узлов, источник ICP обладает большим ресурсом работы с химически активными газами. Особенно важно, что он предоставляет возможность независимого управления энергией и плотностью потока ионов, поступающих на подложку. Успехи в конструировании источников ICP для целей микроэлектроники побудили разработчиков оборудования применить их и в других отраслях, например, в азотировании стальных деталей, обработке полимерных пленок и нанесении специальных покрытий методами PVD и PECVD.
За последнее десятилетие эти источники нашли широкое промышленное применение, по которому появилось большое количество новой информации. Поэтому назрела необходимость составления обзора, цель которого систематизация основных экспериментальных результатов разработки и применения источников ICP.
В книге приведено описание принципов действия, особенностей и преимуществ источников ICP и рассмотрены многочисленные варианты конструкций современных источников ICP. Приведены также примеры технологических применений описываемых источников для нанесения тонких пленок: в процессах PVD и PECVD. И, кроме того, описано формирование плазмохимическим травлением трехмерных структур в различных материалах и двумерных структур в тонких пленках и связанное с такой обработкой существенное изменение свойств поверхностей различных материалов, в особенности полупроводников.
Таким образом, настоящая книга представляет собой подробное справочное руководство по конструкциям и применению источников ICP. В ней обобщено современное развитие этих технологических процессов и используемого для них оборудования. Книга рассчитана на студентов, аспирантов, конструкторов нового технологического оборудования, использующего источники ICP, и технологов, работающих на таком оборудовании. Конструкторы найдут в ней обзор способов достижения высоких параметров источников ICP, а технологи ознакомятся с широким спектром их применения и полученных с их помощью достижений. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций.

837 р.

Купить

Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения

Берлин Е.В., Григорьев В.Ю., Сейдман Л.А.

2020

837 руб.

Купить

Лазерная плазма на поздних стадиях разлета: эксперимент, физика, масс-спектрометрия

Данная монография посвящена комплексному исследованию продуктов разлета лазерной плазмы. Изучена динамика формирования энергетических, зарядовых и пространственных спектров атомов, положительно и отрицательно заряженных частиц в лазерном факеле в широком диапазоне плотностей потока излучения. Сопоставляются результаты экспериментов по воздействию излучения от лазерных устройств, генерирующих различные длины волн -- 0,6943 мкм; 1,06 мкм, 11 10,6 мкм.
Экспериментально обнаружен и исследован ряд новых эффектов и закономерностей, позволивших предложить ряд моделей процессов ионизации, рекомбинации и ускорения в лазерной плазме на ранних стадиях развития. Показаны способы управления параметрами пучков частиц лазерной плазмы по количеству, зарядовому составу, геометрии разлета и энергетическому диапазону, что позволило создать ряд источников частиц для ядерно-физических экс-Периментов.

Об авторе
Сильнов Сергей Михайлович – доктор физико-математических наук, профессор. Автор более 150 публикаций. С 1966 по 2003 год работал в МИФИ, прошел путь от техника до главного научного сотрудника.

Введение

Разработка идеи использования сфокусированного на поверхность твердотельной мишени лазерного излучения большой интенсивности для образования и нагрева плазмы /1/ послужила мощным импульсом к зарождению и развитию фактически новой области физики - физики лазерной плазмы. Достижения современной квантовой оптики и лазерной техники стимулировали серьезный исследовательский интерес к изучению как фундаментальных процессов в лазерной плазме, так и решению ряда прикладных задач в том числе и такой важнейшей, как проблема управляемого термоядерного синтеза (УТС). К настоящему времени в результате большой серии экспериментальных и теоретических исследований удалось выявить роль и характер поглошения лазерного излучения в образующейся плазме, механизмов передачи энергии между различными компонентами, основные закономерности кинетики ионизационного состояния и динамики разлета лазерно-плазменного факела. Существенный вклад в экспериментальные исследования внесло, в частности, развитие и применение метода лазерной массспектрометрии /2,3/, позволившего определить зарядовый состав плазмы, закономерности протекания процессов ионизации, ускорения и рекомбинации в лазерной плазме. В результате многочисленных исследований установлено, что лазерная плазма является интенсивным эмиттером заряженных и нейтральных частиц: электронов, ионов и атомов. Проведено детальное изучение механизмов формирования энергетических спектров ионов и нейтралов, а также разработаны и технически реализованы лазерные источники частиц, нашедшие применение в работе ускорителей, циклотронов и масс-спектрометров. По результатам исследований лазерной плазмы совместными усилиями с ОИЯИ (г.Дубна), разработаны и успешно апробированы лазерные источники атомов и ионов для коллективного ускорителя тяжелых ионов (КУТИ), с помощью которого осуществлена загрузка и накопление ионов при инжекции в электронные кольца, в совместных работах МИФИ с ЛЯР ОИЯИ реализованы низкофоновый лазерно-плазменный источник ионов для высокочувствительного масс-спектрометра дня поиска сверхтяжелых элементов в природе и источники для циклотронов, усилиями ИТЭФ разрабатывается лазерный источник многозарядных ионов тяжелых элементов для инерциального термоядерного синтеза, совместно МИФИ и Сумским заводом электронных микроскопов была создана серия промышленных лазерных масс-спектромегров ЭМАЛ-l и ЭМАЛ-2.
Такие свойства лазерной плазмы, как быстрый вклад энергии, нестационарность процессов ионизации и рекомбинации, широкая вариантность начальных условий, существование больших градиентов концентраций и температур создают уникальные возможности для изучения параметров вещества в экстремальных условиях. Быстрое падение плотности и охлаждение лазерно-плазменного сгустка при разлете его в вакуум резко меняет характер ионизирующих процессов. При этом реализуются условия, характерные для образования отрицательно заряженных ионов.
Современная масс - спектрометрия является одним из наиболее тонких и чувствительных методов анализа вещества. Возможности масс-спектрометрического метода во многом определяются способом получения ионов, выбором оптимального способа извлечения и, формирования ионных пучков, а также максимально возможным соответствием свойств сформированного в источнике ионного пучка ионно-оптическим параметрам выбранного масс-спектрометра. Создание нового, современного метода анализа вещества невозможно без детальных исследований процессов взаимодействия лазерного излучения с веществом, свойств ионной компоненты лазерной плазмы, выбора и создания оптимальных систем формирования ионного пучка, его транспортировки и оптимизации ионно-оптической схемы масс-спектрометра.
В 60-90-х годах была создана физическая
картина процессов взаимодействия лазерного излучения с веществом в широком диапазоне плотностей потока излучения, получены основополагающие результаты о свойствах лазерной плазмы, дана её подробная характеристика как эмиттера ионов, сформулированы требования к различным типам лазерных источников ионов для масс - спектрометрии, а некоторые из них успешно реализованы.
Исследования характеристик лазерного плазменного сгустка можно условно разбить на три направления:
1. Изучение интегральных и локальных характеристик частиц плазменного сгустка за время действия импульса излучения.
2. Динамика развития лазерно-плазменного факела на ранних стадиях разлета за времена сравнимые с воздействием излучения.
3. Изучение "Эмиссионных характеристик различных компонентов сгустка на поздних стадиях разлета.
В то время, как первые два направления дают информацию о совокупности быстропротекающих процессов в ядре и короне лазерно-плазменного факела и служат для построения процессов взаимодействия излучения с веществом, применение методов третьего направления дает возможность количественного анализа компонентного состава плазмы и является существенно необходимым дополнением для первых двух. Кроме того, детальные исследования параметров эмиссии атомных частиц на поздних стадиях разлета лазерной плазмы ориентируются на практическое использование ее в качестве источников частиц: многозарядных положительных ионов, электронов, отрицательно заряженных ионов, нейтральных атомов и кластеров.
Данная монография в основном посвящена описанию лазерной плазмы с использованием всех преимуществ третьего метода, а именно: исследованию продуктов взаимодействия мощного лазерного излучения с веществом на поздних стадиях разлета с построением картины формирования плазменного факела во время действия импульса излучения.

375 р.

Купить

Лазерная плазма на поздних стадиях разлета: эксперимент, физика, масс-спектрометрия

Сильнов С.М.

2007

375 руб.

Купить

Лазеры. Исполнение, управление, применение. Мир физики и техники

Перевод нового (7-го) издания базового учебника издательства «Шпрингер» по основам лазерной оптики содержит новейшие сведения о высокомощных диодных и твердотельных лазерах для ультрафиолетового, видимого и инфракрасного излучений, рассмотрены волоконные лазеры, ультракороткие световые импульсы, рентгеновские лучи и световые импульсы от лазеров на свободных электронах, а также их применение в медицинской диагностике и биофотонике.
В книге затрагиваются следующие вопросы: функции, типы и свойства лазерного излучения, типы лазеров, оптические компоненты и управление лазерным излучением, применение лазеров в технологии обработки материалов, медицине, измерениях и передаче данных.
Простота и доступность изложения делает книгу прекрасным пособием не только для специалистов, но и для студентов и преподавателей профильных вузов.

671 р.

Предзаказ

Лазеры. Исполнение, управление, применение. Мир физики и техники

Айхлер Ю., Айхлер Г.И.

2012

671 руб.

Предзаказ

Физико-химические процессы в газовой динамике. Справочник. Т.1. Динамика физико-химических процессов в газе и плазме. 2-е изд.

Нет описания

100 р.

Купить

Физико-химические процессы в газовой динамике. Справочник. Т.1. Динамика физико-химических процессов в газе и плазме. 2-е изд.

Черный Г.Г., Лосев С.А. (ред.)

2007

100 руб.

Купить

Электродинамика метаматериалов. Фундаментальные основы нанотехнологий. Основы физики плазменных структур

В настоящей книге рассматриваются фундаментальные основы физики плазменных структур и метаматериалов, основанных на таких структурах, а также их различные захватывающие применения для управления светом. Вводная глава 1 описывает базовые свойства резонансов поверхностных плазмонов в металлических частицах и металл-диэлектрических композитах, а также перколяционную модель, использующуюся для их описания. В главе 2 подробно рассмотрены металлические проводящие стержневые композиты и их применения для создания «левых» метаматериалов. Глава 3 и 4 описывают уникальные свойства металл-диэлектрических пленок, называемых также квазинепрерывными, и их основные приложения. В книге также представлена общая теория поверхностного усиления сигнала комбинационного рассеяния и теория нелинейно-оптических явлений в металл-диэлектрических метаматериалах. В конце главы 4 обсуждается аналитическая теория аномального оптического пропускания (линейного и нелинейного). Наконец, глава 5 рассматривает вопрос электромагнитных свойств геометрически упорядоченных металл-диэлектрических кристаллов.

Книга предназначена научным работникам, аспирантам и студентам, интересующимся электродинамикой метаматериалов.

380 р.

Купить

Электродинамика метаматериалов. Фундаментальные основы нанотехнологий. Основы физики плазменных структур

Сарычев А.К., Шалаев В.М.

2011

380 руб.

Купить

Электродинамика метаматериалов. Фундаментальные основы нанотехнологий. Основы физики плазменных структур. Распродажа уценённых книг!

В настоящей книге рассматриваются фундаментальные основы физики плазменных структур и метаматериалов, основанных на таких структурах, а также их различные захватывающие применения для управления светом. Вводная глава 1 описывает базовые свойства резонансов поверхностных плазмонов в металлических частицах и металл-диэлектрических композитах, а также перколяционную модель, использующуюся для их описания. В главе 2 подробно рассмотрены металлические проводящие стержневые композиты и их применения для создания «левых» метаматериалов. Глава 3 и 4 описывают уникальные свойства металл-диэлектрических пленок, называемых также квазинепрерывными, и их основные приложения. В книге также представлена общая теория поверхностного усиления сигнала комбинационного рассеяния и теория нелинейно-оптических явлений в металл-диэлектрических метаматериалах. В конце главы 4 обсуждается аналитическая теория аномального оптического пропускания (линейного и нелинейного). Наконец, глава 5 рассматривает вопрос электромагнитных свойств геометрически упорядоченных металл-диэлектрических кристаллов.
Книга предназначена научным работникам, аспирантам и студентам, интересующимся электродинамикой метаматериалов.

Учебник уценён из-за небольшого повреждения переплёта. Текстовый блок и содержание не повреждены. См.Фото.

Уважаемые покупатели, уценённые издания возврату и обмену не подлежат!

295 р.

Купить

Электродинамика метаматериалов. Фундаментальные основы нанотехнологий. Основы физики плазменных структур. Распродажа уценённых книг!

Сарычев А.К., Шалаев В.М.

2011

295 руб.

Купить

Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения

Осталось всего: 1
Автор: Берлин Е.В., Григорьев В.Ю., Сейдман Л.А.
Рубрика: Плазма, источники, технологическое применение плазмы
ISBN: 978-5-94836-519-0
Год издания: 2020

837 р.

Купить

Лазерная плазма на поздних стадиях разлета: эксперимент, физика, масс-спектрометрия

Автор: Сильнов С.М.
Рубрика: Плазма, источники, технологическое применение плазмы
ISBN: 978-5-88711-297-8
Год издания: 2007

375 р.

Купить

Лазеры. Исполнение, управление, применение. Мир физики и техники

Автор: Айхлер Ю., Айхлер Г.И.
Рубрика: Плазма, источники, технологическое применение плазмы
ISBN: 978-5-94836-309-7
Год издания: 2012

671 р.

Предзаказ

Автор: Черный Г.Г., Лосев С.А. (ред.)
Рубрика: Плазма, источники, технологическое применение плазмы
ISBN: 978-589-176-414-9
Год издания: 2007

100 р.

Купить

Электродинамика метаматериалов. Фундаментальные основы нанотехнологий. Основы физики плазменных структур

Автор: Сарычев А.К., Шалаев В.М.
Рубрика: Плазма, источники, технологическое применение плазмы
ISBN: 978-5-91522-226-6
Год издания: 2011

380 р.

Купить

295 р.

Купить